Изготавливает структуры кристалла интегральных микросхем и полупроводниковых приборов.
Основной функционал:
- ведет наблюдение за температурой и другими режимами и регулирует их
- ведет наблюдение и корректирует режимы напыления по результатам контрольного процесса
- ведет процесс газового травления
- ведет процесс наращивания эпитаксиальных, поликристаллических и монокристаллических слоев
- ведет процессы диффузии примесей в германий, кремний, арсенид галлия в диффузионных печах различных типов (в том числе с программным управлением) с применением твердых, жидких и газообразных диффузантов
- ведет процессы термического окисления полупроводниковых подложек (пластин) в термических установках и различных газовых средах при нормальном и повышенном давлениях
- выполняет требования безопасных и санитарно-гигиенических методов труда
- выполняет требования культуры производства и экологии
- выполняет требования по подготовке к работе с пластинами
- выполняет требования, предъявляемые к техпроцессу
- загружает навески испаряемых материалов (золото, алюминий, нихром и др.) на испарители различных конструкций
- задает режимы,налаживает и корректирует режимы и контролирует автоматизированные диффузионные установки
- замеряет температуру оптическим пирометром
- контролирует и корректирует режим процесса наращивания
- контролирует качество полученных пленок и их толщину
- контролирует соблюдение технологической дисциплины
- обслуживает вакуумные установки различных типов
- обслуживает диффузионные печи и установки любого типа, в том числе и с программным управлением
- определяет неисправности в работе установок и принимает меры к их устранению
- осуществляет замену стаканов и настройку индукторов по температурному режиму, настройку температурного режима на установках, использующих различные виды нагрева
- осуществляет набор и выполнение программ управления технологическим процессом в автоматическом режиме
- осуществляет проведение двустадийных процессов диффузии
- оформляет сопроводительную документацию
- подготавливает оборудование, инструмент и приспособления к работе
- пользуеся контрольно-измерительными и оптическими приборами, оборудованием, инструментом, приспособлениями при проведении работ соответствующей квалификации
- пользуется средствами предупреждения и тушения пожаров
- приготавливает растворы тетрахлорида кремния
- проверяет герметичность газовой систем
- проверяет качество применяемых подложек, материалов
- проводит аттестацию геометрических размеров элементов на маске и пластине кремния с помощью микроскопа, фотошаблоне
- проводит расчет параметров диффузионных слоев, обрабатывает экспериментальные данные, строит графики, таблицы по статистическим данным
- проводит цикл операций фотолитографии по пленкам диэлектрика и металла
- проводит экспериментальные и опытные работы по наращиванию слоев
- производит введение и дозирование легирующих примесей в кремний, германий, арсенид галлия
- производит измерение параметров БИС, СБИС и транзисторных структур
- производит напыление металлических, резистивных и диэлектрических пленок на установках различных типов
- производит напыление однослойных и многослойных структур для изделий с субмикронными размерами или повышенной степенью интеграции различными способами с выбором режимов напыления в пределах допусков, указанных в технологической документации
- производит наращивание сверхтонких поликристаллических и монокристаллических слоев
- производит отжиг легированных слоев
- производит сборку, вакуумирование и отпайку кварцевых ампул с мышьяком, сурьмой, бором и их соединениями, являющимися источником диффузанта
- производит снятие и установку кварцевой оснастки на оборудовании различных типов
- производит устранение разброса параметров слоев различными методами
- производит экспонирование, проявление и задубливание фотослоя
- работает и обслуживает установки совмещения и экспонирования
- работает с измерительной аппаратурой для регистрации и поддержания режимов осаждения пленок
- устанавливает подложки, маски, экраны и испарители в рабочую камеру вакуумной установки